设备名称

设备型号

工作方式

备  注

催化再生式氩气净化机

CZA-B

手动

工作塔一用一备

CZA-C

半自动

工作塔一用一备

CZA-D

手动

工作塔一组

CZA-Z

全自动

工作塔一用一备

原气要求

纯  度

≥99.9%一般瓶装纯氩、液氩、较好的管道氩

杂质要求

O2<1000PPm, H2O<1000PPm

输出纯气

杂质含量

O2≤0.5PPm

H2O≤2PPm(即露点≤－70℃)

CO+CO2≤0.1PPm

尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升

S、P的氧化物≤0.1PPm

纯  度

≥99.9998%

工作压力

0～1.0MPa

处理气量

1～100Nm3/h  根据用户需求设计制造

备 注

此系列设备不能除氮，氩气中除氮应选择4N/FX系列机型。